Investigation on Polisher Life in Ultra-high Pressure and Speed Polishing of Aluminum Type of Magnetic Disk Substrate ( 1^<st> Report )-In Case of Single Nap Layer Type of Polisher-
Investigation on Polisher Life in Ultra-high Pressure and Speed Polishing of Aluminum Type of Magnetic Disk Substrate ( 1^<st> Report )-In Case of Single Nap Layer Type of Polisher-
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铝型磁盘基板超高压高速抛光中抛光机寿命的研究（1^<st>报告）-以单绒毛层型抛光机为例-
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yutaka YAMASAKI
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Heiji YASUI;Kanta YAMAGUCHI;Seiji MATSUKAWA;Yutaka YAMASAKI
