Properties of TO device using Thin SiOF Films recycled from waste silicate glass

Properties of TO device using Thin SiOF Films recycled from waste silicate glass
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使用废硅酸盐玻璃回收的 SiOF 薄膜制备 TO 器件的性能

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Extended Abstract of The 52th Spring Meeting, The Japan Society of Applied Physics No.1
影响因子：
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通讯作者：
T.Homma
T.Homma
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
D.Yamaguchi;H.Sasaki;T.Miura;M.Nara;Y.Nishimura;K.Aihara;M.Sugawara;T.Homma

文献摘要

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