Formation Speed of Atomically Flat surface on Si(100) in Ultra-Pure Argon

Formation Speed of Atomically Flat surface on Si(100) in Ultra-Pure Argon
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超纯氩中 Si(100) 原子平坦表面的形成速度

DOI:
10.1016/j.mee.2011.06.014
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发表时间:
2011
影响因子:
2.3
通讯作者:
Xiang Li
Xiang Li
中科院分区:
工程技术3区
文献类型:
--
作者:
永野敦士;荻野要介;大西直文;澤田恵介;A.Ando;Xiang Li

文献摘要

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