ZrBx薄膜の特性評価とCu多層配線への応用
ZrBx薄膜の特性評価とCu多層配線への応用
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ZrBx薄膜的特性评估及其在Cu多层布线中的应用
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
野矢
中科院分区：
文献类型：
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作者：
武山;佐藤;早坂;青柳;野矢
