原子層堆積法による平坦なZnO薄膜の成長条件調査
原子層堆積法による平坦なZnO薄膜の成長条件調査
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原子层沉积法平坦 ZnO 薄膜生长条件的研究
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
居波 渉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山本 燎;加納 寛人;中村 篤志;居波 渉
