門田清: プラズマプロセシング研究会資料. 6. 302-305 (1989)
門田清: プラズマプロセシング研究会資料. 6. 302-305 (1989)
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Kiyoshi Kadota：等离子体加工研究小组材料。6. 302-305 (1989)
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