角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）-長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討-
角度補正付き逐次多点法を用いた走査型平面形状測定（第2報）-長ピッチ測定を援用した2次誤差軽減法の検討-
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使用带角度校正的顺序多点法进行扫描平面形状测量（第二次报告） - 使用长节距测量的二次误差减少方法的检查 -
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田丸雄摩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
夘田将太;清水浩貴;田丸雄摩
