広視野レーザ顕微鏡による円筒表面形状のナノベル測定
広視野レーザ顕微鏡による円筒表面形状のナノベル測定
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使用宽视场激光显微镜纳米钟测量圆柱表面形状
DOI:
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发表时间:
2013
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
新田勇
中科院分区:
文献类型:
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作者:
佐久間俊介;関健作;月山陽介;新田勇