T.Shibutani, Q.Yu, M.Shiratori: "Evaluation of Interface Strength Between Thin Films Fabricated on a Silicon Substrate for an Advanced LSI on the basis of Fracture Mechanics Concept"THERMEC2003. 3. 3469-3474 (2003)
T.Shibutani, Q.Yu, M.Shiratori: "Evaluation of Interface Strength Between Thin Films Fabricated on a Silicon Substrate for an Advanced LSI on the basis of Fracture Mechanics Concept"THERMEC2003. 3. 3469-3474 (2003)
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T.Shibutani、Q.Yu、M.Shiratori：“基于断裂力学概念评估先进 LSI 的硅衬底上制造的薄膜之间的界面强度”THERMEC2003。
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