Laser Chemical Processing (LCP) of Poly-Silicon Thin Film on Glass Substrates☆
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复制标题
玻璃基板上多晶硅薄膜的激光化学加工（LCP）☆
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A. Aberle
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Virasawmy;N. Palina;S. Chakraborty;P. Widenborg;B. Hoex;A. Aberle
