テクスチャガラス基板が電子線蒸着非晶質Si膜のFLAでの結晶化機構に与える影響
テクスチャガラス基板が電子線蒸着非晶質Si膜のFLAでの結晶化機構に与える影響
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织构化玻璃基板对FLA电子束沉积非晶硅薄膜结晶机制的影响
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大平 圭介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
倉田 啓佑;大平 圭介
