松村: "Gas-Phase-Reaction-Controlled ALE of Sllicon" J.Vac,Sceience and Technology. (1998)
松村: "Gas-Phase-Reaction-Controlled ALE of Sllicon" J.Vac,Sceience and Technology. (1998)
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Matsumura：“Sllicon 的气相反应控制 ALE”J.Vac，科学与技术 (1998)。
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