The surface modification effect by irradiation of a surface wave excited hydrogen plasma onto zinc oxide films

The surface modification effect by irradiation of a surface wave excited hydrogen plasma onto zinc oxide films
复制标题

表面波激发氢等离子体照射氧化锌薄膜的表面改性效果

DOI：
--
复制
发表时间：
2006
期刊：
Proc. Of the XXIIth International Symposium on Discharges and Electrical Insulation in Vacuum
影响因子：
--
通讯作者：
et.al.
et.al.
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
T.NAKAYAMA;Y.SATA;K.KASHIWAGI;et.al.

文献摘要

参考文献

相似文献

A Uniform and Dense Microwave Plasma
均匀且致密的微波等离子体
DOI： --
发表时间： 2003
期刊：
影响因子： --
作者：
K. Senda;K. Umehara;Y. Sakamoto
通讯作者： Y. Sakamoto