atalytically Excited Water-promoted CVD (CEW-CVD) method for the fabrication of ZnO thin films at low temperatures
atalytically Excited Water-promoted CVD (CEW-CVD) method for the fabrication of ZnO thin films at low temperatures
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用于低温制备 ZnO 薄膜的催化激发水促进 CVD (CEW-CVD) 方法
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasunobu Inoue
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kazunari Tamura;Hiroshi Nishiyama;Hiroshi Matsubara;Yasunobu Inoue
