M.Shiozawa, K.Nanbu: "Coupling of plasma and flow in materials processing"Thin Solid Films. Vol.457. 48-54 (2004)
M.Shiozawa, K.Nanbu: "Coupling of plasma and flow in materials processing"Thin Solid Films. Vol.457. 48-54 (2004)
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M.Shiozawa、K.Nanbu：“材料加工中等离子体与流动的耦合”固体薄膜。
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