Directed Self-Assembly Technology with Block Co-polymer/Metal Nanocomposites for Ultrafine-Feature Metallization
Directed Self-Assembly Technology with Block Co-polymer/Metal Nanocomposites for Ultrafine-Feature Metallization
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用于超细特征金属化的嵌段共聚物/金属纳米复合材料的定向自组装技术
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takafumi Fukushima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hiromasa Shimizu;Shogo Suzuki;Takumi Maeda;Kohei Ito;and Kazunori Ikebukuro;Takafumi Fukushima
