Flow distribution measurements of a thin resin layer at UV-NIL process by using digital-holographic-PTV

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使用数字全息 PTV 测量 UV-NIL 工艺中薄树脂层的流量分布

DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
Proc. of the 39th International Conference on Micro and Nano Engineering
影响因子：
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通讯作者：
Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Noriyuki Unno;Shin-ichi Satake and Jun Taniguchi

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