6H-SiCにおける高温酸化皮膜の透過電子顕微鏡による観察
6H-SiCにおける高温酸化皮膜の透過電子顕微鏡による観察
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使用透射电子显微镜观察6H-SiC上的高温氧化膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
黒田光太郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
B.Chayasomba;加藤丈晴;佐々木勝寛;黒田光太郎
