A Planar Nano-Positioning Table System for Advanced Machine Tools-猫眼课题宝

用于高级机床的平面纳米定位工作台系统

DOI：

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发表时间：

2004

期刊：

Proceedings of the ASPE 2004 Annual Conference 34

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

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文献类型：

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作者：

H.Yoshioka;K.Komatsu;H.Hashizume;H.Shinno;T.Shinshi;K.Sato