Ion-assisted surface smoothing of semiconducting and insulating materials
Ion-assisted surface smoothing of semiconducting and insulating materials
复制标题
半导体和绝缘材料的离子辅助表面平滑
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
池畑隆
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
富田和成;増子冬馬;佐藤直幸;池畑隆
