Al2O3/GaSb MOS 界面構造における絶縁膜堆積前処理の検討

Al2O3/GaSb MOS 界面構造における絶縁膜堆積前処理の検討
复制标题

Al2O3/GaSb MOS界面结构绝缘膜沉积预处理的思考

DOI:
--
复制
发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
前田辰郎
前田辰郎
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
後藤高寛;藤川紗千恵;藤代博記;小倉睦郎;安田哲二;前田辰郎

文献摘要

相似文献