Mobility Enhancement in Extremely-Thin Body (110) SiGe-on-insulator pMOSFETs using Starting Substrates with Thin SiGe Layers

Mobility Enhancement in Extremely-Thin Body (110) SiGe-on-insulator pMOSFETs using Starting Substrates with Thin SiGe Layers
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使用具有薄 SiGe 层的起始衬底增强极薄体 (110) 绝缘体上 SiGe pMOSFET 的迁移率

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and S. Takagi
and S. Takagi
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
C.-T. Chen;X. Han;K. Toprasertpong;M. Takenaka;and S. Takagi

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