鎌田喜一郎: "反応性スパッタリングによるSiCx膜の機械的性質" 日本セラミックス協会論文誌. 98. 156-160 (1989)
鎌田喜一郎: "反応性スパッタリングによるSiCx膜の機械的性質" 日本セラミックス協会論文誌. 98. 156-160 (1989)
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Kiichiro Kamata：“反应溅射生产的 SiCx 薄膜的机械性能”日本陶瓷学会杂志 98. 156-160 (1989)。
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