Y. Inoue, H. Sugimura, O. Takai: "In situ surface analysis by infrared reflection absorption spectroscopy in PECVD of silicon-oxide films"Thin Solid Films. 386. 252-255 (2001)
Y. Inoue, H. Sugimura, O. Takai: "In situ surface analysis by infrared reflection absorption spectroscopy in PECVD of silicon-oxide films"Thin Solid Films. 386. 252-255 (2001)
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Y. Inoue、H. Sugimura、O. Takai：“在氧化硅薄膜的 PECVD 中通过红外反射吸收光谱进行原位表面分析”固体薄膜。
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