酸素引き抜きによるTi/Al2O3界面平坦性の劣化観察
酸素引き抜きによるTi/Al2O3界面平坦性の劣化観察
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观察由于氧夺取而导致 Ti/Al2O3 界面平整度恶化的情况
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杉村聡太郎・染谷満・蓮沼隆・上殿明良・山部紀久夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤井;有田;村上;浜田;高橋;杉村聡太郎・染谷満・蓮沼隆・上殿明良・山部紀久夫
