Tatsuru Shirafuji: "In situ ellipsometric monitoring for the growth of poly-Si thin films by RF plasma chemical vapor deposition" Proceedings of the 2nd International Conference on Reactive Plasmas. 2. 649-652 (1994)
Tatsuru Shirafuji: "In situ ellipsometric monitoring for the growth of poly-Si thin films by RF plasma chemical vapor deposition" Proceedings of the 2nd International Conference on Reactive Plasmas. 2. 649-652 (1994)
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Tatsuru Shirafuji：“通过射频等离子体化学气相沉积对多晶硅薄膜的生长进行原位椭圆测量监测”第二届反应等离子体国际会议论文集。
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