工具主軸と並進軸のサーボ情報を応用した 光学ガラスレンズの超精密研削加工面の評価
工具主軸と並進軸のサーボ情報を応用した 光学ガラスレンズの超精密研削加工面の評価
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利用刀具主轴和平移轴伺服信息评价光学玻璃镜片超精密磨削表面
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
栗山充，福田将彦，田中克敏，柿沼康弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Sato;S. Yamato;Y. Imabeppu;N. Irino;Y. Kakinuma;栗山充，福田将彦，田中克敏，柿沼康弘
