フエムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製非平面構造の作製

フエムト秒レーザリソグラフィによるシリカガラス製非平面構造の作製
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飞秒激光光刻法制备石英玻璃非平面结构

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
Proceedings of 13^<th> symposium on Micro-joining and Assembly Technology in Electronics Vol.13
影响因子:
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通讯作者:
平田好則
平田好則
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
溝尻瑞枝;西山宏昭;西井準治;河原敏男;川合知二;平田好則

文献摘要

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