フォトリソグラフィプロセスで作製したメアンダ型のNbTiN超伝導マイクロストリップ単一光子検出器の評価
フォトリソグラフィプロセスで作製したメアンダ型のNbTiN超伝導マイクロストリップ単一光子検出器の評価
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光刻工艺蜿蜒型NbTiN超导微带单光子探测器的评价
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
寺井 弘高
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藪野 正裕;知名 史博;三木 茂人;寺井 弘高
