H.Toyoda他4名: "Simple Direct Monitoring of SiH3 Radical and Particulates in a Silane Plasma with Ultra-Violet Transmission Spectroscopy" Japanese Journal of Applied Physics. 34A. L448-451 (1995)
H.Toyoda他4名: "Simple Direct Monitoring of SiH3 Radical and Particulates in a Silane Plasma with Ultra-Violet Transmission Spectroscopy" Japanese Journal of Applied Physics. 34A. L448-451 (1995)
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H.Toyoda 和其他 4 人：“用紫外透射光谱法简单直接监测硅烷等离子体中的 SiH3 自由基和颗粒”，日本应用物理学杂志 34A（1995 年）。
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