APCVD法制备ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究

APCVD法制备ZnO薄膜及其结构和光学性能的研究
复制标题

DOI:
--
复制
发表时间:
2014
期刊:
Scientific Journal of Microelectronics
影响因子:
--
通讯作者:
马鹏华
马鹏华
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
许莹;侯林艳;马鹏华

文献摘要

相似文献