M.Tomiki: "High-Resolution in Heat-Resistant Optical Polymer by Electron-Beam Exposure and Thermal Development"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.42,No.4B. 2538-2540 (2003)
M.Tomiki: "High-Resolution in Heat-Resistant Optical Polymer by Electron-Beam Exposure and Thermal Development"Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.42,No.4B. 2538-2540 (2003)
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M.Tomiki：“通过电子束曝光和热显影实现耐热光学聚合物的高分辨率”Jpn.J.Appl.Phys.. Vol.42，No.4B。
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