Hybrid subtractive and additive femtosecond laser micro-machining for highly functional biochip fabrication
Hybrid subtractive and additive femtosecond laser micro-machining for highly functional biochip fabrication
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用于高性能生物芯片制造的混合减法和加法飞秒激光微加工
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Sugioka
中科院分区：
文献类型：
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作者：
F. Sima;D. Wu;J. Xu;K. Midorikawa;K. Sugioka
