Development of wide field of view EUV microscope using normal-incident multilayer optics with LPP light source
Development of wide field of view EUV microscope using normal-incident multilayer optics with LPP light source
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使用带有 LPP 光源的法向入射多层光学器件开发宽视场 EUV 显微镜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Mizutani H
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ishida F;Ejima T;Toyoda M;Tsuru T;Hatano T;Yanagihara M;Mizutani H
