Simulation of Relation between Electrode Thickness and Spring Characteristic of a New Stacked-type Electrostatic Actuator
Simulation of Relation between Electrode Thickness and Spring Characteristic of a New Stacked-type Electrostatic Actuator
复制标题
新型堆叠式静电致动器电极厚度与弹簧特性关系的仿真
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
実吉敬二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
奥田一雄;実吉敬二
