Nitriding Mechanism of Titanium Thin Film by Ion Implantation
Nitriding Mechanism of Titanium Thin Film by Ion Implantation
复制标题
钛薄膜离子注入渗氮机理
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Kasukabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Tanaka;Y.Komatsu;C-K.Choo;Y.Kasukabe
