辻 博司: "連続動作大電流スパッタ型負重イオン源の開発" アイオニクス. 20. 29-39 (1994)
辻 博司: "連続動作大電流スパッタ型負重イオン源の開発" アイオニクス. 20. 29-39 (1994)
复制标题
Hiroshi Tsuji:“连续操作高电流溅射型负重离子源的开发”Ionics. 20. 29-39 (1994)。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: