プラズマ CVD におけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係
プラズマ CVD におけるナノ粒子成長とプラズマ生成の関係
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等离子体 CVD 中纳米颗粒生长与等离子体生成之间的关系
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白谷正治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田知晃;阿部滉平;佐々木勇輔;山本晃大;山下大輔;奥村賢直;鎌滝晋礼;板垣奈穂;古閑一憲;白谷正治
