High Performance ECF(Electro-Conjugate Fluid) Micropump by the In-plane Integration of MEMS-fabricated electrodes
High Performance ECF(Electro-Conjugate Fluid) Micropump by the In-plane Integration of MEMS-fabricated electrodes
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通过面内集成 MEMS 制造电极的高性能 ECF（电共轭流体）微型泵
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他2名
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Kim;S. Yokota;他2名
