Special Issue on Cu Metallization, Experiments using Computer Simulation for ULSI Interconnects Designing
Special Issue on Cu Metallization, Experiments using Computer Simulation for ULSI Interconnects Designing
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铜金属化特刊，使用计算机模拟进行 ULSI 互连设计的实验
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Kageyama and Y. Sasajima
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Akabane;J. Kageyama and Y. Sasajima
