中川行人: "ECRプラズマ源の特性評価とドライエッチングへの応用" 電気学会プラズマ研究会資料. EP-93-68. 29-38 (1993)
中川行人: "ECRプラズマ源の特性評価とドライエッチングへの応用" 電気学会プラズマ研究会資料. EP-93-68. 29-38 (1993)
复制标题
中川幸人：《ECR等离子体源的特性评价及其在干法蚀刻中的应用》日本电气工程师学会等离子体研究组资料EP-93-38（1993）。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
