Solid-phase crystallization of amorphous SiGe films deposited by LPCVD on SiO2 and glass
Solid-phase crystallization of amorphous SiGe films deposited by LPCVD on SiO2 and glass
复制标题
SiO2 和玻璃上 LPCVD 沉积非晶 SiGe 薄膜的固相结晶
DOI：
10.1016/s0040-6090(98)01388-1
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发表时间：
1999
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
A. Kling
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Olivares;A. Rodríguez;J. Sangrador;T. Rodríguez;C. Ballesteros;A. Kling
