プラズマ支援原子層プロセスにおける表界面反応層制御・診断
プラズマ支援原子層プロセスにおける表界面反応層制御・診断
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等离子体辅助原子层工艺表面反应层的控制与诊断
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
2019/6/27
中科院分区：
文献类型：
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作者：
第72回日本酸化ストレス学会学術集会 ;北海道立道民活動センター かでる２・７ ;2019/6/27
