ダイヤモンド薄膜を絶縁膜として用いたパワーSOC用SOI基板のシミュレーションによる検討
ダイヤモンド薄膜を絶縁膜として用いたパワーSOC用SOI基板のシミュレーションによる検討
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采用金刚石薄膜作为绝缘膜的功率SOC SOI衬底的模拟研究
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
西澤伸一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
児玉拓也;松本 聡; 西澤伸一
