細管を用いた容量結合マイクロプラズマの放電特性,春季第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
細管を用いた容量結合マイクロプラズマの放電特性,春季第54回応用物理学関係連合講演会講演予稿集
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使用细管的电容耦合微等离子体的放电特性，应用物理协会第 54 届春季会议论文集
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡辺恒雄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
市瀬彩子;杤久保文嘉;内田 諭;渡辺恒雄
