Efficient Process for Ultrahigh Quality 4H-SiC Crystal Utilizing Solution Growth on Off-axis Seed Crystal
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利用离轴籽晶溶液生长实现超高品质 4H-SiC 晶体的高效工艺
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Ujihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Harada;Y.Yamamoto;K.Seki;A.Horio;T.Mitsuhashi;T.Ujihara
