Study on Mask-pattern Design for Fabrication of 3-D Structures Utilizing PCT Technique

Study on Mask-pattern Design for Fabrication of 3-D Structures Utilizing PCT Technique
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利用 PCT 技术制造 3D 结构的掩模图案设计研究

DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
MEMOIRS OF THE SR CENTER, RITSUMEIKAN UNIVERSITY No,11
影响因子：
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通讯作者：
S.Sugiyama
S.Sugiyama
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
M.Horade;A.Sasa;S.Sugiyama

文献摘要

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