収束イオンビーム励起化学気相法によるマイクロ構造体の作製と機械的性質の評価
収束イオンビーム励起化学気相法によるマイクロ構造体の作製と機械的性質の評価
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聚焦离子束激发化学气相法微结构制备及力学性能评价
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松室昭仁
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高木誠;中山浩征;松室昭仁
