The Design of MEMS Scanner for the Three Dimensional Actuation with a Pair of Beams
The Design of MEMS Scanner for the Three Dimensional Actuation with a Pair of Beams
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双梁三维驱动MEMS扫描仪设计
DOI：
10.1541/ieejsmas.136.448
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发表时间：
2016
影响因子：
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通讯作者：
岩瀬英治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小口陽平;飯野知紗;岩瀬英治
