Patterning and Carbonization of Block Copolymer Self-assembled Structures by Focused-ion-beam
Patterning and Carbonization of Block Copolymer Self-assembled Structures by Focused-ion-beam
复制标题
聚焦离子束嵌段共聚物自组装结构的图案化和碳化
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Ishihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Warisawa;R.Mitsuhashi;R.Kometani;S.Ishihara
